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產品特色
．納米復合硬質涂層設備
．采陰極電弧鍍膜技術，可安裝4~8組6吋圓形陰極弧源
．圓形靶靶材利用率高
．真空零配件均采進口元件
．特殊幾何形狀檔板(遮蔽靶源)
．系統采夾層式水路冷卻；八邊形不銹鋼腔體
．搭載4 組Heater，可均勻升溫至450℃
．搭載超高真空渦輪幫浦
． 8軸3層公自轉機構，產能大且膜層均勻
．置具臺車方便Loading /Unloading生產，提供生產效率
．全自動化鍍膜生產，可遠端網路診斷及程式除錯
．可鍍膜種類：TiN、CrN、ZrN、TiSiN、TiAlN、AlTiN、AlCrN、AlTiCrN、AlTiSiN、TiX、G1…
可應用范圍
．銑削、車削、鉆孔、攻牙之刀工具
成型、沖壓之模具
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